Az Inpower Dry félvezető vákuumszivattyúk speciális szivattyúk, amelyeket a félvezetőiparban használnak tiszta és száraz vákuumkörnyezet létrehozására. Ezek a szivattyúk nélkülözhetetlenek olyan folyamatokhoz, mint a kémiai gőzleválasztás, a fizikai gőzleválasztás, az ionimplantáció és a maratás.
Technikai paraméterek:
|
Modell |
GXR110 |
GXR180 |
GXR320 |
GXR400 |
|
|
SEBESSÉG (50 Hz) |
m³/h |
110 |
180 |
320 |
400 |
|
Végső vákuum (50 Hz) |
Pa |
1-nél kisebb vagy egyenlő |
1-nél kisebb vagy egyenlő |
1-nél kisebb vagy egyenlő |
1-nél kisebb vagy egyenlő |
|
TELJESÍTMÉNY (50 Hz) |
KW |
4.5 |
7.5 |
7.5 |
7.5 |
|
Kényszerített belső keringető hűtés |
A GXR kényszerített belső keringetésű hűtőberendezéssel van felszerelve, melynek maximális szivattyútest-hőmérséklete<50 ° C and a maximum motor temperature of<35 ° C |
||||
|
Feszültség és frekvencia |
Alkalmazkodni a globális feszültséghez és frekvenciához |
||||
|
Bemeneti/kimeneti interfész |
Testreszabható karimás interfész/KF interfész |
||||
|
Víz |
Nyomás (MPa) |
0.2-0.4 |
|||
|
Áramlás L/perc |
3-5 |
||||
|
Tem ( diploma ) |
10-30 |
||||
|
N2 |
Nyomás (MPa) |
0.05-0.1 |
|||
|
Áramlás L/perc |
6-20 |
||||
|
Zaj |
Db |
68-nál kisebb vagy egyenlő |
68-nál kisebb vagy egyenlő |
70-nél kisebb vagy egyenlő |
70-nél kisebb vagy egyenlő |
|
Súly |
Kg |
280 |
360 |
360 |
420 |
|
Monitoring és ellenőrzés |
Vezérlőpult/vákuum digitális kijelző/hőmérsékletfigyelés/áramfelügyelet/hibariasztás/egyéb hálózati szolgáltatások |
||||
|
Modell |
GXR180/800 |
GXR180/1300 |
GXR180/1800 |
GXR450/2600 |
|
|
SEBESSÉG (50 Hz) |
m³/h |
800 |
1300 |
1800 |
2600 |
|
Végső vákuum (50 Hz) |
Pa |
Kisebb vagy egyenlő, mint 0.1 |
Kisebb vagy egyenlő, mint 0.1 |
Kisebb vagy egyenlő, mint 0.1 |
Kisebb vagy egyenlő, mint 0.1 |
|
TELJESÍTMÉNY (50 Hz) |
Kw |
7.5 |
7.5 |
9 |
15 |
|
Kényszerített belső keringető hűtés |
A GXR kényszerített belső keringetésű hűtőberendezéssel van felszerelve, melynek maximális szivattyútest-hőmérséklete<50 ° C and a maximum motor temperature of<35 ° C |
||||
|
Feszültség és frekvencia |
Alkalmazkodni a globális feszültséghez és frekvenciához |
||||
|
Bemeneti/kimeneti interfész |
Testreszabható karimás interfész/KF interfész |
||||
|
Víz |
Nyomás (MPa) |
0.2-0.4 |
|||
|
Áramlás L/perc |
0.1 |
||||
|
Tem ( diploma ) |
3-5 |
||||
|
N2 |
Nyomás (MPa) |
10-30 |
|||
|
Áramlás L/perc |
0.05-0.1 |
||||
|
Zaj |
Nyomás (MPa) |
6-20 |
|||
|
Súly |
Db |
70-nél kisebb vagy egyenlő |
70-nél kisebb vagy egyenlő |
72-nél kisebb vagy egyenlő |
72-nél kisebb vagy egyenlő |
|
Monitoring és ellenőrzés |
Kg |
600 |
720 |
800 |
1350 |
|
SEBESSÉG (50 Hz) |
Vezérlőpult/vákuum digitális kijelző/hőmérsékletfigyelés/áramfelügyelet/hibariasztás/egyéb hálózati szolgáltatások |
||||
Jellegzetes:
Szennyezésmentes működés:
A száraz csigás szivattyúk nem igényelnek kenést vagy tömítőfolyadékot, így elkerülhető a vákuumkamra szennyeződésének veszélye. Ez kulcsfontosságú a félvezetőgyártási környezet tisztaságának megőrzéséhez.
Nagy szivattyúzási sebesség:
A szárazcsigás szivattyúk képesek nagy szivattyúzási sebesség elérésére, így jól alkalmazhatók olyan alkalmazásokban, ahol gyors gázelszívásra van szükség, például a félvezető feldolgozásnál.
Alacsony karbantartási igény:
Az olajos tömítésű szivattyúkhoz képest a szárazcsavaros szivattyúk karbantartási igénye alacsonyabb, mivel működésük nem igényel olajat. Ez csökkenti az állásidőt és költségmegtakarítást a szivattyú életciklusa során.
Energiahatékonyság:
A szárazcsavaros szivattyúkat energiahatékonyságra tervezték, segítve a félvezetőgyártókat teljes energiafogyasztásuk és működési költségeik csökkentésében.
Széles működési tartomány:
Ezek a szivattyúk széles nyomástartományban működhetnek, rugalmasságot biztosítva a különböző félvezetőgyártási folyamatokban, amelyek eltérő vákuumszintet igényelnek.
Kompakt kialakítás:
A szárazcsavaros szivattyúk jellemzően kompakt kialakításúak, lehetővé téve a félvezető berendezésekbe való könnyű beépítést, és értékes alapterület megtakarítását tisztatéri környezetben.
Megbízhatóság:
A szárazcsavaros szivattyúk megbízhatóságukról és hosszú élettartamukról ismertek, állandó teljesítményt biztosítanak az idő múlásával, és hozzájárulnak a félvezetőgyártási műveletek általános hatékonyságához.
Inpower Dry félvezető vákuumszivattyúk Alkalmazási terület:
Félvezető gyártás:
A száraz csigás szivattyúk kritikus szerepet játszanak a különböző félvezető-gyártási folyamatokban, beleértve a kémiai gőzleválasztást (CVD), a fizikai gőzleválasztást (PVD), az ionimplantációt, a maratást és a porlasztást. Segítenek létrehozni és fenntartani a szükséges vákuumszinteket, amelyek elengedhetetlenek ezekhez a folyamatokhoz.
Vékonyréteg-lerakás:
A vékonyréteg-leválasztási technikákban, mint például a porlasztás és a bepárlás, száraz csigás szivattyúkat használnak a folyamatkamra kiürítésére és a szükséges vákuumfeltételek fenntartására a vékony filmek szubsztrátumokra történő lerakásához.
Ostya feldolgozás:
A száraz csigás szivattyúkat ostyafeldolgozási lépésekben, például tisztításban, mintázásban és adalékolásban alkalmazzák, ahol a tiszta és száraz vákuumkörnyezet fenntartása elengedhetetlen a pontos és megbízható eredmények eléréséhez.
Népszerű tags: száraz félvezető vákuumszivattyúk, Kína száraz félvezető vákuumszivattyúk gyártói, beszállítói, gyár, nagyteljesítményű, száraz csavaros szivattyúk, ipari száraz csavaros szivattyúk, hatékony, száraz csavarszivattyúk, Megbízható, száraz csavarszivattyúk, Csavarszivattyúk száraz alkalmazásokhoz, tartós, száraz csavaros szivattyúk
