Ultra nagy vákuumú mechanikus nyomásfokozó szivattyú
Az ultranagy vákuumú (UHV) mechanikus nyomásfokozó szivattyúk (Roots Booster Pumps) növelik a gázteljesítményt az alacsony{0}}nyomású vákuumrendszerekben, ahol nagy szivattyúzási kapacitásra és gyors szivattyú{1}}leállásra van szükség.
A kompatibilis háttérszivattyúval (például száraz vákuumszivattyúval vagy forgólapátos szivattyúval) együtt működő nyomásfokozó pozitív -elmozdulásos mechanikai hatást alkalmaz, hogy a gázt a kamra oldaláról a hátoldali fokozatba továbbítsa. Ez jelentősen megnöveli az effektív szivattyúzási sebességet a közepes és az ultra{2}}magas vákuumnyomás tartományban.
Műszaki előírások
|
Paraméter |
Specifikáció/kiválasztási követelmény |
Mérnöki szempontok |
|
Terméktípus |
UHV mechanikus nyomásfokozó szivattyú (Roots elv) |
Pozitív-elmozdulás, nagy{1}}áteresztőképesség-növelő |
|
Karima szabványok |
ISO-K / ISO-F, CF karimák vagy egyéni |
A vezetőképesség és az UHV tömítés integritása alapján választották ki |
|
Szivattyúzási sebesség tartomány |
Modell-függő (lásd a teljesítménygörbéket) |
A rendszervezeték vezetőképességével együtt kell kiszámítani |
|
Üzemi nyomás |
Közepes vákuumtól ultramagas vákuumig (UHV) |
A teljes szivattyúzás és a kamra kigázosítása szabályozza |
|
Hátsó szivattyú illesztése |
Szárazszivattyú, forgólapátos vagy forgódugattyús |
A visszatámasztó kapacitásnak meg kell egyeznie a nyomásfokozó ürítési áramlásával |
|
Max nyomáskülönbség |
Modell{0}}specifikus megengedett nyomáshatár (Delta P max) |
Megakadályozza a termikus túlterhelést és a mechanikai igénybevételt |
|
Vákuum-oldalsó anyagok |
Rozsdamentes acél, kezelt ötvözetek, speciális bevonatok |
Alacsony gázkibocsátási sebesség és vegyszerállóság |
|
Tömítés konfiguráció |
Elasztomer (FKM/FFKM) vagy fém tömítések (CF) |
A hélium szivárgási sebessége és a kiégési határértékek alapján van kiválasztva |
|
Hélium szivárgási arány |
Akár 1 x 10^-10 mbar L/s |
Tömegspektrométeres szivárgásérzékelővel ellenőrizve |
Kiválasztási és integrációs útmutató
A megfelelő Roots nyomásfokozó szivattyú kiválasztásához és a vákuumrendszerbe való zökkenőmentes integráció érdekében értékelje a következő működési pontokat:
Szivattyúzási sebesség és célnyomás:Számítsa ki a szükséges effektív szivattyúzási sebességet a kamra bemeneténél, figyelembe véve a csővezeték vezetőképességét.
Gázterhelés és folyamat közeg:Azonosítsa a folyamatgáz összetételét, a korrozív tulajdonságokat, a porrészecskéket és az anyagkibocsátási sebességet.
Hátsó szivattyú kompatibilitás:Győződjön meg arról, hogy a visszafolyó szivattyú kezeli a nyomómennyiséget anélkül, hogy túllépné a megengedett legnagyobb nyomáskülönbséget (Delta P max).
Termikus és rendszerreteszelések:Konfigurálja a nyomáskapcsolókat, a változtatható frekvenciájú hajtásokat (VFD) és a hűtőreteszeket, hogy elkerülje a mechanikai túlterhelést a nagyolási fázisok során.
Tipikus alkalmazások
Félvezető és elektronika:Kiürítési és technológiai gázkezelés maratási, CVD és litográfiai segédeszközökhöz, amelyek alacsony szennyeződést igényelnek.
Vékony{0}}fólia lerakódás és bevonat:Stabil üzemi nyomást tart fenn a nagy -áteresztőképességű PVD, porlasztási és optikai bevonási folyamatok során.
Kutatólaboratóriumok:Nagy-megbízható vákuumteljesítmény részecskefizikai, felülettudományi és űrszimulációs kamrákhoz.
Vákuumos kemencék és feldolgozás:Hatékonyan kezeli a nehéz gázterhelést a magas hőmérsékletű{0}}gáztalanítás, a vákuumforrasztás és a hőkezelés során.
Minőségellenőrzés és dokumentáció
Az UHV megbízhatóság szigorú gyártási és ellenőrzési szabványokat igényel:
Tisztatéri feldolgozás:Többlépcsős ultrahangos tisztítás, oldószeres zsírtalanítás és por-mentes csomagolás az alacsony gázkibocsátás érdekében.
Precíziós tesztelés:Dinamikus rotor kiegyensúlyozás, méretellenőrzés és tömegspektrométeres hélium szivárgásteszt.
Szállítandó dokumentumok:Modell-specifikus szivattyúzási sebességgörbék, CAD/STEP vázlatrajzok, motor elektromos specifikációi, anyagtanúsítványok és szivárgásvizsgálati jelentések.
GYIK
K: Mi az ultranagy vákuumú mechanikus nyomásfokozó szivattyú elsődleges funkciója?
V: Az ultranagy vákuumú mechanikus nyomásfokozó szivattyú növeli a hatékony szivattyúzási sebességet és a gázteljesítményt alacsony{0}}nyomású vákuumrendszerekben. A gázt a vákuumkamrából a hátoldali szivattyú felé továbbítja, lehetővé téve a gyors evakuálást és a nagyobb végső nyomásteljesítményt.
K: Működhet-e önállóan a Roots mechanikus nyomásfokozó szivattyú, háttérszivattyú nélkül?
V: Nem. A mechanikus nyomásfokozó szivattyúhoz megfelelő támasztószivattyúra (például szárazszivattyúra vagy forgólapátos szivattyúra) van szükség a gáz atmoszférikus nyomásra történő kibocsátásához.
K: Miért kerüljem a nyomásfokozó szivattyú kiválasztását csak a névleges szivattyúzási sebesség alapján?
V: A névleges szivattyúzási sebesség ideális elmozdulást jelent, anélkül, hogy figyelembe vennénk a valós rendszerveszteségeket{0}}. A tényleges teljesítmény a vákuum-vezeték vezetőképességétől, a szivattyú kapacitásától, az üzemi nyomástól és a kamra gázterhelésétől függ.
K: Hogyan akadályozhatom meg a hőtúlterhelést a nyomásfokozó szivattyú működése közben?
V: A termikus túlterhelést az üzemi nyomásnak a megengedett különbségi határon belül tartásával (Delta P max) akadályozza meg. Nyomáscsökkentő szelep, változtatható frekvenciájú hajtás (VFD) vagy nyomáskapcsoló használata a nyomásfokozó indítás-vezérlésére megvédi a szivattyút a túlzott gázterheléstől.
K: Milyen UHV tisztasági óvintézkedéseket tesznek a gyártás során?
V: Az UHV szolgáltatásnál a vákuum{0}}oldali alkatrészek speciális tisztítási folyamatokon, például ultrahangos zsírtalanításon mennek keresztül a szénhidrogén-maradványok eltávolítása érdekében.
Népszerű tags: ultra nagy vákuumú mechanikus nyomásfokozó szivattyú, Kína ultra nagy vákuumú mechanikus nyomásfokozó szivattyú gyártók, beszállítók, gyár
