Zéró szivárgású mágneses meghajtógyökerek vákuumerősítője
A Zero Leakage Magnetic Drive Roots Booster hermetikusan lezárt mágneses erőátvitelt használ a nyomaték átvitelére a motor és a szivattyúkamra között. A hagyományos dinamikus tengelytömítések kiküszöbölésével ez a kialakítás eltávolítja a szabványos mechanikus -hajtáserősítőkben rejlő elsődleges szivárgási útvonalat, megakadályozva a folyamatban lévő gázok szennyeződését és a légkör bejutását.
Ezt a rendszert az elsődleges háttérszivattyúk nagyteljesítményű{0}}fokozójaként tervezték, és optimalizálja a szivattyúzási sebességet és a maximális vákuumteljesítményt a félvezető-, vegyipari, kohászati és ipari bevonási folyamatokban.
Műszaki előírások
A következő paraméterek szolgálnak kiindulópontként a műszaki értékeléshez és a modellválasztáshoz:
|
Paraméter |
Specifikáció / Kiválasztás alapja |
|
Szivattyú mechanizmus |
Kettős-rotoros Roots vákuumerősítő |
|
Meghajtó interfész |
Hermetikusan zárt mágneses tengelykapcsoló (nincs tengely behatolás) |
|
Névleges szivattyúzási sebesség |
A kívánt működési ponthoz konfigurálva |
|
Végső nyomás |
A rendszer konfigurációjától és a szivattyú teljesítményétől függ |
|
Üzemi nyomástartomány |
A folyamatos gázterhelés és a nyomásfokozó konfiguráció határozza meg |
|
Max. Megengedett nyomáskülönbség |
Modell-specifikus; bypass szelep vagy nyomáskapcsoló védi |
|
Szivárgási arány |
Hélium tömegspektrometriával tesztelve (<= 1x10^-9 Pa·m^3/s) |
|
Karima szabványok |
ISO-K, CF, DN vagy ANSI szabványok állnak rendelkezésre |
|
Hűtési módszer |
Léghűtéses-vagy víz-hűtéses (a hőterhelés alapján) |
|
Gázkompatibilitás |
Anyag testreszabás korrozív/kondenzálódó gáz elemzés alapján |
|
Tápellátás és tápegység |
Normál 3-fázisú (380V/440V/480V, 50/60 Hz; ATEX opcionális) |
Mágneses meghajtó technológia és szivárgásszabályozás
Dinamikus tengelytömítések eltávolítása
A szabványos Roots boosterek dinamikus mechanikus tengelytömítésekre támaszkodnak, amelyek fokozatosan elhasználódnak a súrlódás, a hőtágulás és a kémiai lebomlás következtében.
A mágneses meghajtórendszer kiküszöböli ezt a meghibásodási pontot egy statikus védőburkolat (tartály) használatával:
Nyomatékátvitel: A külső mágnesek a belső mágneseket szilárd, nem{0}}mágneses gáton hajtják át közvetlen érintkezés nélkül.
Hermetikus tömítés: A dinamikus tömítést statikus tömítési elrendezéssé alakítja, kiküszöböli a tengelyszivárgást és védi a folyamat tisztaságát.
Mérhető szivárgási szabványok
A nagy-vákuumtervezésben a „zéró szivárgás” szigorú, mérhető elfogadási szabványra utal, nem pedig ellenőrizetlen marketingállításra.
Minőséggarancia: Minden egységet gyárilag{0}}dinamikus vákuum alatt tesztelnek hélium tömegspektrométer szivárgásérzékelőkkel (HMSLD) a hélium szivárgási sebességi határértékeinek való megfelelés igazolására3. . A vizsgálati tanúsítványokat a szállítási dokumentáció tartalmazza.
Kulcsfontosságú ipari alkalmazások
A mágneses hajtáserősítő ideális olyan alkalmazásokhoz, ahol szigorú gázszigetelést, mérgező anyagok izolálását vagy ultra-tiszta körülményeket igényelnek:
Félvezető és elektronika:PVD/CVD felhordás, maratás, kristályhúzás és lapkafeldolgozás nagy-tisztaságú vagy reaktív gázok felhasználásával.
Vegyi és gyógyszerészeti feldolgozás:Oldószer-visszanyerés, vákuumdesztilláció, termikus gáztalanítás és agresszív gőzkivonás.
Vákuumos bevonat és kohászat:Optikai bevonat, elektronsugaras{0}}hegesztés, vákuum-indukciós olvasztás (VIM) és ipari hőkezelő kemencék.
Nagy-értékű gázvisszanyerés:Ritka vagy drága gázok, köztük a hélium (He), az argon (Ar) és a kén-hexafluorid (SF6) zárt hurkú recirkulációja.
Rendszerintegrációs és -kiválasztási útmutató
Az optimális Roots booster kiválasztásához a teljes vákuumrendszert ki kell értékelni, nem pedig kizárólag a névleges szivattyúzási sebességre hagyatkozni.
Számítsa ki a célszivattyúzási sebességet:Határozza meg az effektív sebességet a kamra teljes térfogata, a szükséges evakuálási idő, a folyamat gázáram és a rendszer gázkibocsátása alapján.
Hátsó szivattyú illesztése:Gondoskodjon arról, hogy a kitámasztó szivattyú elegendő teljesítményt biztosítson a nyomásfokozóból származó kibocsátások kezeléséhez a maximális nyomáskülönbség határértékeinek túllépése nélkül.
Process Media Review:Azonosítsa a korrozív, mérgező, kondenzálódó vagy szemcsés{0}}terhelt gázokat a megfelelő rotorbevonatok (például PTFE vagy nikkelezés), gázballaszt konfigurációk vagy bemeneti szűrőegységek kiválasztásához.
Minőségbiztosítási és gyártási szabványok
Precíziós megmunkálás:A CNC-profilmarás rendkívül szorosan tart-a rotor-a ház-hézagát, így mechanikus érintkezés nélkül optimalizálja a térfogati hatékonyságot.
Dinamikus kiegyensúlyozás:A rotorok dinamikus kiegyensúlyozáson mennek keresztül az ISO 1940 G1.0 szabványok szerint az alacsony vibráció és a hosszú csapágy élettartam érdekében.
Csatlakozás biztonsága:A mágneses meghajtó szerelvényeket termikus-feszültség-tesztelték, hogy biztosítsák a zéró csúszást teljes működési terhelés mellett.
GYIK
K: Hogyan akadályozza meg a mágneses meghajtó a folyamatgáz szennyeződését?
V: A hagyományos Roots boosterekkel ellentétben, amelyek forgó mechanikus tömítéseket használnak a tengely körül, a mágneses hajtás a nyomatékot szilárd, statikus védőgáton keresztül továbbítja.
K: Elindulhat ez a nyomásfokozó légköri nyomáson?
V: A szabványos Roots boostereket nem szabad légköri nyomáson védelem nélkül elindítani, mivel a nagy nyomáskülönbségek a motor túlterhelését és a rotorok hőtágulását okozhatják.
K: Hogyan védi a mágneses meghajtót a nyomatékcsúszás vagy túlterhelés ellen?
V: A mágneses tengelykapcsoló névleges értéke meghaladja a maximális üzemi nyomaték követelményét. Ha váratlan mechanikus lefagyás következik be, a mágneses tér szétvál (elcsúszik), hogy megvédje a belső alkatrészeket és a motort a katasztrofális meghibásodástól.
K: Ez a szivattyú képes kezelni a korrozív vagy kondenzálódó gázokat?
V: Igen. Agresszív vagy kondenzálódó alkalmazásokhoz személyre szabott ház- és rotoranyagokat kínálunk (mint például rozsdamentes acél vagy speciális felületi bevonatok, mint például PTFE és nikkelezés).
K: Milyen műszaki adatokat kell megadnom, amikor árajánlatot kérek?
V: A pontos méretezés érdekében kérjük, adja meg: a cél üzemi nyomást, a szükséges szivattyúzási sebességet vagy kamratérfogatot a megcélzott szivattyú-leállási idejével, a gázösszetételt, a meglévő háttérszivattyú-specifikációkat (ha vannak), az előnyben részesített karimaszabványokat és a közüzemi követelményeket (feszültség/hűtővíz).
Népszerű tags: zéró szivárgású mágneses hajtásgyöker-erősítő, Kína nulla szivárgású mágneses meghajtógyöker-erősítő gyártók, beszállítók, gyár
